เธ›เธตเธ—เธตเนˆ 27 เธ‰เธšเธฑเธšเธ—เธตเนˆ 3 เธเธฃเธเธŽเธฒเธ„เธก-เธเธฑเธ™เธขเธฒเธขเธ™ 2547 / Vol. 27 No. 3 July-September 2004
ISSN   0125-278


   เธšเธ—เธ„เธงเธฒเธกเธงเธดเธˆเธฑเธข

เธ›เธฑเธเธซเธฒเนเธฅเธฐเธญเธธเธ›เธชเธฃเธฃเธ„เนƒเธ™เธเธฒเธฃเธ—เธณเธ‡เธฒเธ™เธงเธดเธˆเธฑเธขเธ‚เธญเธ‡เธญเธฒเธˆเธฒเธฃเธขเนŒ
เธกเธซเธฒเธงเธดเธ—เธขเธฒเธฅเธฑเธขเน€เธ—เธ„เน‚เธ™เน‚เธฅเธขเธตเธžเธฃเธฐเธˆเธญเธกเน€เธเธฅเน‰เธฒเธ˜เธ™เธšเธธเธฃเธต

เธˆเธฃเธฑเธชเธ”เธฒเธง เธญเธดเธ™เธ—เธฃเธ—เธฑเธจเธ™เนŒ

Nanoindentation of Silicon (100) Studied by Experimental
and Finite Element Method

Nurot Panich

เธเธฒเธฃเน€เธ›เธฅเธตเนˆเธขเธ™เนเธ›เธฅเธ‡เธ„เธธเธ“เธชเธกเธšเธฑเธ•เธดเธ—เธฒเธ‡เน€เธ„เธกเธตเนเธฅเธฐเน€เธ„เธกเธตเธเธฒเธขเธ เธฒเธžเธ‚เธญเธ‡เธ‚เน‰เธฒเธงเธ‚เธฒเธง
เธ”เธญเธเธกเธฐเธฅเธดเธชเธฒเธขเธžเธฑเธ™เธ˜เธธเนŒ 105 เนƒเธ™เธฃเธฐเธซเธงเนˆเธฒเธ‡เธเธฒเธฃเน€เธเน‡เธšเธฃเธฑเธเธฉเธฒเธ—เธตเนˆเธญเธธเธ“เธซเธ เธนเธกเธดเธ•เนˆเธฒเธ‡เธเธฑเธ™

เธˆเธดเธฃเธจเธฑเธเธ”เธดเนŒ เธ„เธ‡เน€เธเธตเธขเธฃเธ•เธดเธ‚เธˆเธฃ   เน€เธžเธฅเธ‡เธžเธดเธ“ เธจเธดเธงเธžเธฃเธฃเธฑเธเธฉเนŒ   เนเธฅเธฐ  เธ—เธฃเธ‡เธจเธดเธฅเธ›เนŒ เธžเธˆเธ™เนŒเธŠเธ™เธฐเธŠเธฑเธข

เธเธฒเธฃเธงเธฒเธ‡เธญเธธเธ›เธเธฃเธ“เนŒเธ›เน‰เธญเธ‡เธเธฑเธ™เธ—เธตเนˆเน€เธซเธกเธฒเธฐเธชเธกเธ—เธตเนˆเธชเธธเธ”เนƒเธ™เธฃเธฐเธšเธšเธˆเธณเธซเธ™เนˆเธฒเธขเธเธฃเธฐเนเธชเน„เธŸเธŸเน‰เธฒ เน‚เธ”เธขเธ„เธณเธ™เธถเธ‡เธ–เธถเธ‡
เธ„เธงเธฒเธกเธชเธนเธเน€เธชเธตเธขเน€เธกเธทเนˆเธญเน„เธŸเธ”เธฑเธš เธฃเธฒเธ„เธฒเธ•เธฅเธญเธ”เธญเธฒเธขเธธเธเธฒเธฃเนƒเธŠเน‰เธ‡เธฒเธ™ เนเธฅเธฐเธ”เธฑเธŠเธ™เธตเธ„เธงเธฒเธกเน€เธŠเธทเนˆเธญเธ–เธทเธญเน„เธ”เน‰

เธฃเธชเธงเธฃเธฃเธ“ เธšเธธเธžเธจเธดเธฃเธด   เนเธฅเธฐ  เธ™เธคเธกเธฅ เธงเธฑเธ’เธ™เธžเธ‡เธจเธเธฃ

เธเธฒเธฃเธœเธฅเธดเธ•เน„เธ‹เธฅเธฒเน€เธ™เธชเธ—เธตเนˆเธ›เธฃเธฒเธจเธˆเธฒเธเน€เธ‹เธฅเธฅเธนเน€เธฅเธชเนƒเธ™เธ–เธฑเธ‡เธซเธกเธฑเธเธ—เธตเนˆเธกเธตเน€เธ›เธฅเธทเธญเธเธ‚เน‰เธฒเธงเน‚เธžเธ”
เน€เธ›เน‡เธ™เนเธซเธฅเนˆเธ‡เธ„เธฒเธฃเนŒเธšเธญเธ™เน‚เธ”เธข alkaliphilic Bacillus firums K-1

เธŠเธ™เธดเธ”เธฒ เน€เธฅเธดเธจเธจเธฅเธฒเธฃเธฑเธเธฉเนŒ   เธ„เธดเธ™ เน€เธฅเธขเนŒ เธ„เธน   เนเธฅเธฐ  เธเธ™เธ เธฃเธฑเธ•เธ™เธฐเธเธ™เธเธŠเธฑเธข

เธเธฒเธฃเธจเธถเธเธฉเธฒเธญเธ‡เธ„เนŒเธ›เธฃเธฐเธเธญเธšเธ—เธตเนˆเน€เธเธตเนˆเธขเธงเธ‚เน‰เธญเธ‡เธเธฑเธšเธเธฒเธฃเน€เธเธดเธ”เธญเธธเธšเธฑเธ•เธดเน€เธซเธ•เธธเธˆเธฃเธฒเธˆเธฃเธ—เธฒเธ‡เธ–เธ™เธ™
เธญเธ”เธดเธจเธฑเธเธ”เธดเนŒ เธžเธ‡เธฉเนŒเธžเธนเธฅเธœเธฅเธจเธฑเธเธ”เธดเนŒ,   เธ˜เธงเธฑเธŠเธŠเธฑเธข เน€เธซเธฅเนˆเธฒเธจเธดเธฃเธดเธซเธ‡เธฉเนŒเธ—เธญเธ‡   เนเธฅเธฐ  เธเธงเธต เน€เธเธทเน‰เธญเน€เธเธฉเธกเธšเธธเธ

เธ„เธธเธ“เธชเธกเธšเธฑเธ•เธดเธ—เธฒเธ‡เน€เธ„เธกเธต เธเธฒเธขเธ เธฒเธž เนเธฅเธฐเธฃเธตเน‚เธญเน‚เธฅเธˆเธตเธ‚เธญเธ‡เนเธ›เน‰เธ‡เธ‚เน‰เธฒเธงเน€เธˆเน‰เธฒเธ—เธตเนˆเธœเธฅเธดเธ•เน‚เธ”เธข
เธเธฃเธฐเธšเธงเธ™เธเธฒเธฃเน‚เธกเนˆเน€เธ›เธตเธขเธเนเธฅเธฐเน‚เธกเนˆเนเธซเน‰เธ‡เนƒเธ™เธฃเธฐเธ”เธฑเธšเธญเธธเธ•เธชเธฒเธซเธเธฃเธฃเธก

เธชเธงเธ™เธดเธ• เธญเธดเธŠเธขเธฒเธงเธ“เธดเธŠเธขเนŒ  เธกเธ“เธ‘เธดเธฃเธฒ เธ™เธžเธฃเธฑเธ•เธ™เนŒ   เนเธฅเธฐ  เธžเธฃเธฃเธ“เธˆเธดเธฃเธฒ เธงเธ‡เธจเนŒเธชเธงเธฑเธชเธ”เธดเนŒ

เธœเธฅเธ‚เธญเธ‡เธชเธฒเธฃเน€เธžเธดเนˆเธกเธ„เธงเธฒเธกเธ„เธ‡เธ•เธฑเธงเธšเธฒเธ‡เธŠเธ™เธดเธ” เธ•เนˆเธญเธ„เธธเธ“เธ เธฒเธž
เธ™เน‰เธณเธเธฐเธ—เธดเน„เธ‚เธกเธฑเธ™เธชเธนเธ‡เธšเธฃเธฃเธˆเธธเธเธฃเธฐเธ›เน‹เธญเธ‡

เธˆเธฑเธ™เธ—เธดเธกเธฒ เธ เธนเธ‡เธฒเธกเน€เธ‡เธดเธ™  เธ™เธ เธฒเธžเธฃ เน€เธŠเธตเนˆเธขเธงเธŠเธฒเธ   เนเธฅเธฐ  เธชเธธเธงเธดเธŠ เธจเธดเธฃเธดเธงเธฑเธ’เธ™เน‚เธขเธ˜เธดเธ™